Институт физики микроструктур РАН отчитался о ходе работ по EUV-литографу
Итоги работы по EUV-литографу и план разработки технологий, представленные на форуме «Микроэлектроника 2025», опубликовал Институт физики микроструктур РАН, сообщил в субботу tomshardware.com. EUV-оборудование необходимо для производства чипов на фон...